青海省突破集成电路基础材料工作进展存在问题及相关建议

近年来，省经信委立足全省新材料产业发展基础优势，按照中国制造2025青海行动方案》战略发展规划，坚持以四个千亿元产业建设作为突破口，通过强化政策支持引导，加强企业技术研发，提升装备水平，促进产业协作，全力推动新材料产业的发展。截至目前，全省已形成了以合金新材料、光电新材料、新型化工新材料、锂电新材料、光伏制造及电子信息新材料产业5大新材料产业板块为主的新材料产业集群，2012年青海省被工信部评为国家级新材料产业基地。

一、 光电及信息材料产业基本情况

    立足资源优势，延伸产业链条，初步形成了以电子级高纯氧化铝为基础，发展蓝宝石为主的光电新材料产业；以晶硅、光纤预制棒等为主的电子信息新材料产业。1-11月，单晶硅、多晶硅产量分别同比增长75.8%、14.6%。

（一）光电新材料产业。以电子级高纯氧化铝技术突破为支撑，加快发展高纯氧化铝粉-蓝宝石衬底-外延片-芯片-LED和碳化硅-半导体元器件产业链。重点企业4家：圣诺光电公司年产1000吨级5N级高纯三氧化二铝，铸玛公司152吨蓝宝石晶体生产线已建成投产，后续正在建设988吨蓝宝石晶体生产线，晶煜晶体公司年产25万片蓝宝石晶片、矽砢电子公司10万片碳化硅衬底及1.5万片外延片项目正在加快建设。

（二）晶硅及电子信息材料。晶硅产能已超过2万吨，黄河水电新能源2500吨、亚洲硅业1.5万吨多晶硅，鑫诺光电1000吨、阳光能源3000吨单晶硅。电子信息材料中利光纤一二期建成了400吨光纤预制棒及拉丝生产线，三期600吨项目正在开展前期。

二、典型案例

（一）基本情况。青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司多晶硅项目采用世界上成熟有竞争能力的改良西门子法半导体多晶硅生产工艺，生产线完全按照电子级多晶硅标准建设，产品质量指标按照国际电子级水平设计，已于2007年6月建成投产，形成2500吨/年多晶硅产能。2014年5月，本项目依托该电子级多晶硅生产线，申报国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》（02专项）电子级多晶硅材料研发项目。2015年12月，该专项攻关工作完成，产品质量实现重大突破，形成批量稳定生产能力，达到国外主要电子级多晶硅生产企业质量标准。同时联合浙江金瑞泓科技股份有限公司和有研新材料股份有限公司成功开展了6英寸、8英寸、12英寸集成电路用硅片的研发实验，电子级多晶硅质量完全满足集成电路行业规范要求，能够满足集成电路生产使用。并同时参与了单晶中碳、氧含量的测定、电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定等多晶硅检测五项标准的制定。

（二）取得的成效。一是在电子级多晶硅材料生产核心技术上不断消化、吸收、加大研发力度，推动了电子级多晶硅生产产量、质量水平不断提高，电子级多晶硅产品产量、比例逐年提升，同时形成了多晶硅生产工艺核心自主知识产权。截止目前，累计获得授权专利12项，其中发明型专利5项，实用新型专利7项。参与国家标准制定4部，行业标准制定1部，研制洁净生产控制标准26项，获得省部级及以上奖励5项。二是掌握了包括破碎、酸洗、分拣、包装及运输在内的电子级多晶硅后处理技术。三是对国内集成电路造商12英寸以上抛光片、外延片以及区熔单晶片和N型电池片等制造工艺所需要的硅料规格都已详细掌握。四是建立了一套完整的硅材料生产质量控制检测标准体系，能够提供全面可靠的检测数据指导生产、控制产品质量，涉及电子级多晶硅的所有检测项目均通过CNAS认可。

三、存在的问题

一是创新能力有待提高。产业发展中存在创新人才匮乏，技术力量薄弱，科技成果的引进、消化、吸收和创新能力不足等。

二是制约产业发展的共性关键技术有待进一步突破。如：高性能大规格铝、镁、钛、铜合金材料制备技术、锂电池储能在光伏电站的应用技术、高效单晶拉棒、先进储能装置等。

三是由于国内电子级多晶硅长期依赖进口，国内下游半导体硅片企业为保证原料的稳定供应，多与国外企业签订长期的硅料采购合同，下游企业一般不轻易使用国内硅料，导致国产硅料市场开拓艰难。

四、相关建议

一是建议国家对电子级多晶硅下游企业——硅片制造企业给予相应政策支持引导，加大对国内产品的宣传和推介，提高上游企业对国产电子级多晶硅产品的认知度，促进国内硅片企业使用国产电子级多晶硅产品。

二是建议国家进一步加大对青海新材料产业的支持，加大对高纯电子级多晶硅生产企业在专项资金等方面的政策支持，推动企业降本增效，实现进口替代。

三是依托现有产业基础，围绕产业发展重点，建议省上继续强化产业链、产业集群招商，补齐产业发展短板。